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四氟化碳安全技术说明书

发布时间:2021-2-3  点击:1473次
第一部分 化学品及企业标识

化学品中文名称:四氟化碳
化学品俗名或商品名:四氟化碳

化学品英文名称:Tetrafluoromethane


产品推荐及限制用途:用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂。

第二部分 危险性概述

紧急情况概述:无色无味压缩气体。纯品基本无毒,但产品中混杂有氟化氢、二氟化氧,则毒性增强,暴露于缺氧环境可导致一下症状:头晕、唾液、恶心、丧失行动能力/失去知觉、心脏疾病。
GHS 危险性类别:
加压气体 压缩气体
特异性靶器官毒性-一次接触 类别 3(麻醉效应) 
标签要素:

象形图:

警示词:危险
危险性说明:含压力下气体,如受热可爆炸。可能造成昏昏欲睡或眩晕。
防范说明:
预防措施:不要吸入粉尘/烟/气体/烟雾/喷雾。只能在室外或通风良好处使用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。
事故响应:
如误吸入:将受害人转移到空气新鲜处,保持呼吸舒适的休息姿势。如感觉不适,就医。
安全储存:
避免日照,在通风良好处储存。
废弃处置:
处置前参照国家和地方有关法规。
物理和化学危险:极本品不燃,可快速引起窒息。进入罐、限制性空间或高浓度区作业, 须有人监护。
健康危害:纯品基本无毒,但产品中混杂有氟化氢、二氟化氧,则毒性增强,暴露于缺氧环境可导致以下症状:头晕、唾液、恶心、丧失行动能力/失去知觉、心脏疾病。
环境危害:氟代烃在底层大气中比较稳定,而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。

第三部分 成分/组成信息

物质/混合物:物质


有害组分

浓度(%)

CAS NO.

四氟化碳

≧99.999

75-73-0


第四部分 急救措施
急救:
皮肤接触:无意义。

眼睛接触:无意义。
吸 入:如果吸入,迅速脱离污染区至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难, 给输氧。如停止呼吸,立即进行人工呼吸,就医。
食 入:不会通过该途径接触。
第五部分 消防措施
灭火剂:用雾状水、泡沫、二氧化碳、干粉灭火剂灭火。

特别危险性:本品不燃。在火场中,容器有开裂和爆炸的危险。

灭火注意事项和防护措施:消防人员必须戴自给正压式呼吸器,穿消防防护服,在安全距离以外灭火。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。隔离事故现场,禁止无关人员进入。
第六部分 泄漏应急处理
作业人员防护措施、防护装备和应急处理程序:根据气体扩散的影响区域划定警戒区,无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。合理通风,加速扩散。建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器。禁止接触或跨越泄漏物。尽可能切断泄漏源。
环境保护措施:避免释放到环境中。尽可能回收处理泄漏气体,防止泄漏的气体进入地下室或受限空间。
泄漏化学品的收容、清除方法及所用的处理材料: 区域通风。监测氧气含量。
第七部分 操作处置与储存
操作注意事项:密闭操作,加强通风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。使用后,气瓶余压不低于0.05MPa,用毕应关紧瓶阀。
储存注意事项:储存于阴凉、通风仓库内。仓温不宜超过 40℃。远离火种、热源。防止阳光直射。配备相应品种和数量的消防器材。
第八部分 接触控制/个人防护
职业接触限值:无资料。

生物限值: 无资料。
监测方法:无资料。
工程控制:生产过程密闭,全面通风。个体防护装备:
呼吸系统防护:一般不需要特殊防护,高浓度接触时,建议佩戴空气呼吸器。

手防护:戴一般作业防护手套。
眼睛防护:必要时佩戴安全眼镜。皮肤和身体防护:穿一般工作鞋。
特殊防护措施:避免接触到眼睛,休息之前和操作过程产品后应立即洗手。
第九部分 理化特性
外观与性状:无色无臭气体
PH 值:无意义 熔点/凝固点(℃):-183.6
沸点(℃):-127.9 

闪点(℃):-188
爆炸下限[%(V/V)]:- 

爆炸上限[%(V/V)]:- 

饱和蒸气压(kPa):13.33 (-150.7℃) 

蒸汽密度(空气=1):3.09
相对密度(水=1):1.61 

易燃性:不燃
辛醇/水分配系数:无数据 

引燃温度(℃):-
分解温度(℃):无意义 

燃烧热(kj/mol):-
临界温度(℃):-45.7 

临界压力(Mpa):3.745

溶解性:不溶于水。


第十部分 稳定性和反应活性
稳定性:稳定

危险反应:无。
避免接触的条件:明火、光照、热源。
不相容的物质:强氧化剂。

危险的分解产物:氟化氢。

第十一部分 毒理学信息
急性毒性:无意义
皮肤刺激或腐蚀:无意义

眼睛刺激或腐蚀:无意义

呼吸或皮肤过敏:无意义

生殖细胞突变性:无意义

致癌性:无资料
生殖毒性:无资料
特异性靶器官系统毒性—一次性接触:可能造成昏昏欲睡或眩晕

特异性靶器官系统毒性—反复接触:无资料
吸入危害:高浓度窒息。
毒代动力学、代谢和分布信息:无资料。
第十二部分 生态学信息

生态毒性:无资料。
持久性和降解性:无资料。 

潜在的生物累积性:无资料。

土壤中的迁移性:无资料。

第十三部分 废弃处置

危险化学品:尽可能回收利用,按当地法规处理。
受污染的容器和包装:将容器返还生产商或按照国家和地方法规处置。
废弃注意事项:处置前应参阅国家和地方有关法规。
第十四部分 运输信息
联合国危险货物编号(UN 号):1982联合国

运输名称:四氟化碳
联合国危险性分类:2.2 

包装标志:不燃气体
包装类别:Ⅱ类包装
包装方法:钢制气瓶

海洋污染物:否
运输注意事项:
采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。
钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防 护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。
运输时运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材。
装运该物品的车辆排气管必须配备阻火装置,禁止使用易产生火花的机械设备和工具装卸。
严禁与氧化剂、酸类、卤素等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。
中途停留时应远离火种、热源。
公路运输时要按规定路线行驶,勿在居民区和人口稠密区停留。
第十五部分 法规信息
法规信息:
下列法律、法规、规章和标准,对化学品的安全生产、使用、储存、运输、装卸、分类和标志、包装、职业危害等方面作了相应的规定:
(1)《中华人民共和国安全生产法》(中华人民共和国主席令第 13 号);
(2)《中华人民共和国职业病防治法》(中华人民共和国主席令第 52 号);
《危险化学品安全管理条例》(国务院令第 591 号);
(4)《工作场所安全使用化学品规定》(〔1996〕劳动部发 423 号);
(5)《危险化学品登记管理办法》(国家安监总局第 53 号令);
(6)《化学品安全技术说明书 内容和项目顺序》(GB/T 16483-2008);
(7)《化学品安全技术说明书编写指南》(GB/T 17519-2013);
(8)《危险货物运输包装通用技术条件》(GB 12463-2009);
(9)《危险货物包装标志》(GB 190-2009);
(10)《危险货物运输包装类别划分方法》(GB/T 15098-2008);
(11)《危险货物分类和品名编号》(GB6944-2012);
(12)《危险货物品名表》(GB 12268-2012);
(13)《工作场所有害因素职业接触限值化学有害因素》(GBZ 2.1-2007);
(14)《化学品分类和危险性公示 通则》(GB 13690-2009);
(15)《危险化学品目录》(2015 年版)。
第十六部分 其他信息
参考文献:
《化学危险品安全技术全书》(化学工业出版社)周国泰
《化学品毒性法规环境数据手册》(中国环境科学出版社 1992)
《危险货物品名表》(2005 版)
《常用危险化学品的分类标志》(GB13690-2009)
《常用化学危险物品安全手册》张维凡、张海峰著
张海峰《危险化学品安全技术大典》第一卷(中国石化出版社 2009) 最新修订日期:2017 年 08 月 10 日
填写部门: 职业卫生安全部
数据审核单位:惠州市乾鑫气体有限公司
修改说明:公司地址、版本号、填写部门变更。

免责声明:本 SDS 的信息仅适用于所指定的产品,除非特别指明,对于本产品与其他物质的混合物等情况不适用。本 SDS 只为那些受过适当专业训练的该产品的使用人员提供产品使用安全方面的资料。本 SDS 的使用者,在特殊的使用条件下必须对该 SDS 的适用性作出独立判断。在特殊的使用场合下,由于使用本 SDS 所导致的伤害,本 SDS 的编写者将不负任何责任。

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